本文介紹了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)的多項(xiàng)特性，它們使得該技術(shù)對(duì)狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用極具吸引力。本文通過回顧一些數(shù)據(jù)來說明MEMS技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r及性能水平，并將其與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計(jì)進(jìn)行比較。

對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇。采用專門化MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技術(shù)，現(xiàn)在已實(shí)現(xiàn)諧振頻率高達(dá)50 kHz、噪聲密度低至25 ?g/ Hz的加速度計(jì)。通過精心設(shè)計(jì)的信號(hào)調(diào)理電子電路，可以充分發(fā)揮此類新型加速度計(jì)的低噪聲優(yōu)勢(shì)。

SiA202 | 參數(shù) 備注 單位 最小值 典型值 最大值
量程 g ±2
非線性 IEEE Norm , %全量程 % 0.3 1.0
頻率響應(yīng) -3dB Hz 200
諧振頻率 過阻尼 kHz 1.4
振動(dòng)整流誤差 均值頻率 [50Hz , 2kHz] μg/g2 1300
噪聲 頻帶內(nèi) μg/√Hz 7
分辨率 @1Hz μg rms 7
啟動(dòng)響應(yīng)時(shí)間 工作延時(shí)運(yùn)動(dòng)一次 μs 40
偏值（K0）溫度系數(shù) 測(cè)定范圍[-40℃， 85℃] μg/℃ 75
綜合偏值（K0）誤差 溫度范圍[-40℃， 85℃] mg 0.14
標(biāo)度因數(shù)（K1）溫度系數(shù) 測(cè)定范圍[-40℃， 85℃] ppm/℃ 20 120 220
綜合標(biāo)度因數(shù)（K1） 溫度范圍[-40℃， 85℃] mV/g 1330 1350 1370
溫度傳感輸出電壓@20℃ V 1.20 1.23 1.26
溫度傳感靈敏度 mV/℃ -4.0
復(fù)位閾值電壓 低電平有效 %VDD 20
工作電壓 V 3.2 3.3 3.4
工作電流 mA 2.3 4

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的MEMS加速度计性能测评的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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