能造EUV光刻机的欧洲:第一次有了自己的EUV生产线!
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能造EUV光刻机的欧洲:第一次有了自己的EUV生产线!
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EUV極紫外光刻機雖然出自歐洲的荷蘭,但是歐洲一直沒有自己的EUV生產線,直到現在。
當地時間9月29日,位于愛爾蘭萊克斯利普(Lexilip)附近的Intel Fab 34晶圓廠,正式開始使用EVU光刻工藝大規模量產生產Intel 4工藝的Meteor Lake處理器,也就是酷睿Ultra。
Intel CEO帕特·基辛格、技術開發總經理Ann Kelleher博士、首席全球運營官Keyvan Esfarjani將參加開工儀式。
這是美國本土俄勒岡州Fab D1之后,Intel第二座量產Intel 4 EUV工藝的晶圓廠,也是歐洲第一次有了自己的EUV生產線。
Intel使用了所謂的“Copy Exactly!”(精準復制),將美國工廠的生產線百分百復刻到愛爾蘭工廠,以提高良率、保證性能一致性。
Intel 4工藝也就是曾經的7nm,號稱相比Intel 7(10nm ESF)在同等功耗下頻率提升21.5%,同等頻率下功耗降低40%,晶體管密度增加1倍,這其中很大的功勞都來自EUV。
總結
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